紫外線涉及領域

電子領域

紫外線可用于光刻設備，用于生產電子芯片，如EUV光刻機采用的是EUV超高頻紫外線(極紫外線)，由于其波長極短，分辨率高，可以用于光刻機，生產極短制程的CPU和各種電子芯片，紫外光刻是電子工業的重要生產技術之一。

工業領域

在表面清洗處理中的應用。

由于大功率超高功率低氣壓UV放電管開發的進展，以及隨著微電子等產品的超微細化，在微電子、超精密器件等產品的制造過程中，由高頻短波紫外線及其產生的臭氧對其產品的表面進行超精密清洗或改善其表面的接著性、附著性的干式光表面處理技術的實用化進展得很快。需要提高成品率的半導體器件、液晶表示元件、光學制品等制造中，紫外線UV和O3臭氧并用的干式光表面處理技術已成不可缺少的技術手段。作為氟利昂的替代技術，光表面清洗技術將逐漸取代濕式的傳統技術。

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